CMP拋光墊澆注過程中隨著聚合反應(yīng)和發(fā)泡反應(yīng)的進(jìn)行，發(fā)泡體系由液體向高粘彈態(tài)轉(zhuǎn)變，并逐漸失去流動(dòng)性而成為固態(tài)，這一過程即為凝膠。一般為“上升時(shí)間”后的20至120秒開始凝膠。拋光墊澆注時(shí)為檢驗(yàn)泡體是否凝膠，可將一牙簽插入泡沫內(nèi)2至4CM深，直至感到有一定的阻力，則說明泡體已經(jīng)凝膠了。如果輕輕觸摸泡沫表皮不再發(fā)粘，則表明已到“不粘時(shí)間”。凝膠時(shí)間應(yīng)和發(fā)泡時(shí)間相匹配，不應(yīng)太快也不能太慢，可以適當(dāng)用凝膠催化劑如A33、T12等調(diào)控凝膠時(shí)間。